产品简介

真空管式炉是一款卧式密闭管式高温热处理设备，集成真空、气氛、程控加热一体化系统，主要用于实验室与中试生产。设备采用双层风冷炉体，两端真空法兰密封炉管，可抽至真空状态或通入氮气、氩气等保护气氛，隔绝空气避免工件氧化。

一、产品简介

核心六大组成系统

1. 双层风冷炉体：冷轧钢板外壳，中间循环风冷，1000℃高温时外壳温度≤60℃；内层氧化铝多晶纤维保温，保温层厚度 80–150mm，节能、温场均匀。

2. 加热升温系统

• 1200℃机型：铁铬铝电阻丝

• 1400℃机型：硅碳棒

• 1600℃机型：高纯硅钼棒

3. 炉管腔体（核心耗材）

• 石英管：≤1100℃，透光、耐酸碱，中性气氛

• 99 刚玉氧化铝管：≤1600℃，耐高温、抗氧化

• 石墨管：2000℃超高温，仅限惰性气氛，禁氧

4. 真空密封系统：KF 真空法兰 + 氟橡胶 O 圈 / 金属密封；机械泵、分子泵机组可选

5. 气氛气路系统：多路进气、转子流量计 / MFC 质量流量计，支持 N₂、Ar、低浓度 H₂、氨气

6. 智能温控系统：触摸屏 PID 程序控温，多段升降温、超温、断偶、漏电多重安全保护

二、产品核心优势

1. 高密封真空环境：可反复抽真空 - 充气置换，极低氧分压，适配易氧化粉体、金属、锂电材料烧结

2. 精准程序控温：30–50 段工艺曲线存储，升温速率 0–20℃/min 可调，控温精度 ±1℃，恒温区温差 ±2~5℃

3. 低能耗轻量化炉膛：真空成型氧化铝纤维，重量仅传统耐火砖 1/5，升温快、降温快

4. 安全防护齐全：双层隔热风冷、超温自动断电、加热元件过流保护、氢气选配防爆结构

5. 灵活定制：管径 φ40/60/80/100/120mm；恒温区 200–600mm；单 / 双温区、旋转管式、立式可选

三、典型应用行业与工艺

• 新能源：锂电池正负极材料煅烧、固态电解质烧结

• 粉末冶金：钛合金、不锈钢、铜基粉末真空烧结、退火、钎焊

• 陶瓷材料：氧化物、氮化物、碳化物陶瓷高温烧结、排胶

• 半导体 / 纳米：CVD 气相沉积、薄膜制备、纳米粉体热解

• 高校科研：固相合成、热重实验、金属还原、氮化、碳化实验

四、真空管式炉标准技术参数表

三档主流温度机型专项参数

1）1200℃管式炉（实验室通用款）

• 短时最高温度：1200℃；长期连续使用：≤1100℃

• 加热元件：铁铬铝电阻丝

• 标配炉管：高纯石英管 φ40/60/80/100mm

• 标配真空：单级旋片机械泵，极限真空≤1Pa

• 恒温区可选：200/300/400mm

• 适用：锂电材料、普通陶瓷、金属退火、CVD 低温沉积

2）1400℃管式炉（中高温通用）

• 短时最高温度：1400℃；长期连续使用：≤1300℃

• 加热元件：硅碳棒

• 标配炉管：99 刚玉氧化铝管

• 真空选配：机械泵（≤1Pa）/ 机械泵 + 分子泵（5×10⁻³Pa 高真空）

• 恒温区：250–450mm

• 适用：氧化物陶瓷、硬质合金、荧光粉、还原烧结

3）1600℃高温管式炉（超高温科研）

• 短时最高温度：1600℃；长期连续使用：≤1550℃

• 加热元件：高纯硅钼棒

• 测温：B 型铂铑热电偶

• 炉管：高纯刚玉管（石英管不可用）

• 保温层厚度：150mm 加厚氧化铝纤维

• 真空系统标配分子泵机组，高真空环境

• 适用：氮化铝、碳化硅、特种陶瓷、航空合金热处理

真空系统配置分级

1. 低真空标配：单级旋片泵，极限真空 ≤1Pa，负压 - 0.099MPa，满足常规惰性气氛置换

2. 高真空高配：机械前级泵 + 涡轮分子泵，极限真空 5×10⁻³Pa，适配高纯材料、薄膜沉积、低分压还原工艺

常用炉管尺寸规格（外径 × 总长）